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内容紹介 本書では， 薄膜作製技術をできるだけ物理あるいは化学の知識に基づいて捉えると同時に， 現場で役に立つ指針となる基盤技術を解説することを主眼として編集された。
先にも述べたように真空あるいはプラズマを用いる薄膜作製技術は， 装置に対する依存性が大きな生産技術である。
したがって， 個々の装置で起きているトラブルや個々の装置設計における問題をすべて解決できる指針を与えることは難しい。
しかしながら， もちろん薄膜作製技術の基盤は物理および化学であり， それらに基づいた系統的な考察が個々の現場でのトラブルの解決に役立つと信ずる。
本書が， 薄膜の生産あるいは開発の現場において役立てば幸いである。
2006年11月 編集委員