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内容紹介 MEMS(微小電気機械システム)の応用分野が拡大している.従来の自動車,家電,情報通信機器から,最近は製造装置,科学機器,医療福祉機器などにも採用されている.
本書は,MEMSの世界的権威である著者が,MEMSの基礎から製作,要素,応用までをわかりやすく解説した入門書である.
※本書は,工業調査会から2009年に発行したものを,森北出版から継続して発行したものです.
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最終調査日時
2012/07/19 (Thu) 01:34:31
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2011/06/02 (Thu) 11:18:45
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