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内容紹介 変革期を迎えるVLSI技術,半導体デバイス技術の差別化のコア技術について,第一線の研究者,技術者がまとめた半導体工学の本格的専門書シリーズ.大学院生や半導体デバイスにかかわる技術者,研究者に,新しい知見や研究開発を進めるための足場を提供する.本書はその第1巻。
ナノスケールVLSIデバイス技術について,動作原理の基礎と諸問題の技術的背景,その対処法をまとめた書籍.大学,電機メーカー各社で長年にわたり第一線で活躍を続ける著者陣により,深くポイントを掘り下げ,洞察に満ちた内容,構成とした.初学者向けの基礎的教科書の知識を前提に,ナノ領域における開発現場での応用と着目点,解決すべき問題を整理した.
MOSFET動作の基礎と短チャネル効果の最新の説明から始まり,微細化にかわる技術として注目されている新構造トランジスタと移動度向上策までを紹介.また,集積化にともなう諸問題として特性ばらつきと信頼性を取り上げた.さらにカーボンナノチューブ等の異なるチャネル材料を用いたトランジスタとMOSFETを越える新原理デバイスの研究状況について概説した.
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2012/07/19 (Thu) 01:34:25
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2011/06/02 (Thu) 11:18:34
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