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著者略歴 (「BOOK著者紹介情報」より)
小島 啓安
1977年東京都立大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。
キヤノン(株)に5年間在籍し、半導体露光装置用光学薄膜プロセス、膜設計の開発に従事する。
また旭硝子(株)に12年間在籍し、建築用、自動車用硝子のスパッタプロセス、膜開発に従事する。
その後、技術移転会社などを経て2003年に独立。
スパッタリングプロセス、薄膜に関するコンサルタント会社として(有)アーステックを設立(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)