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内容紹介 真空技術はあらゆる産業を支える基礎技術の一つであり、食品産業から宇宙産業に至るまでその恩恵に与っている、本書では半導体産業に焦点をあて、そこで使われている真空技術についてまとめた。
できるだけ数式を使わずに理論的、体系的に半導体に関わる真空技術を解説。