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内容説明 This book reviews the progress achieved in SiC research and development, particularly over the past 10 years. It presents the essential properties of 3C-, 6H- and 4H-SiC polytypes including structural, electrical, optical, surface and interface properties; describes existing key SiC devices and also the challenges in materials growth and device fabrication of the 21st century.
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2015/08/01 (Sat) 22:47:45
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2015/08/01 (Sat) 22:47:45
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