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内容紹介 本書では， これまでに開発されたプラズマプロセスのモニタリング技術の中で特に重要と思われる技術を取り上げ， その原理から利用方法や解析の実際， さらには制御への応用の可能性などについて解説している。
技術をより詳細かつ正確に紹介するため， 何人かの専門家の方々にご協力をお願いした。
執筆者は， 現在， 実際に研究に携わり第一線で活躍されておられる比較的若い方々で， 具体的でかつ現状や将来への可能性について多くの示唆を含んだ内容になっている。
多忙な合間を見計らって熱心に執筆頂けたことに対して， 多大の敬意と感謝の意を表したい。
本書が， 読者ご自身のプラズマプロセスの研究開発にモニタリング技術を取入れ， 解析や制御， 装置の設計指針へと生かしていくための一助となれば幸いである。
さらには， 若い研究者・技術者達がモニタリング技術の現状の問題点を指摘し， 新たなる技術の開発に携わって頂ければ， 望外の喜びである。